一、產(chǎn)品功能
OA-ICOSTM工業(yè)痕量氣體分析儀旨在以優(yōu)異的靈敏度、準確度、精密度和響應時間，滿足客戶的苛刻要求。它簡單易用，可在幾分鐘內(nèi)啟動，無需現(xiàn)場校準，并且只需極少的預防性維護。
該系列氣體分析儀非常適用于：
1. 空氣分子污染(AMC)監(jiān)測：用于確保半導體晶圓廠(FAB)工藝和人員的健康安全
2. 前開式晶圓傳送盒(FOUP)和氣相沉積室監(jiān)測
與傳統(tǒng)的光腔衰蕩光譜技術相比，離軸1COS技術具有諸多優(yōu)勢，例如：更加可靠耐用、更短測量時間、使用的光腔和反射鏡可現(xiàn)場維修。
所有ABB儀器均內(nèi)置計算機(采用Liux操作系統(tǒng))，該計算機會將每次分析的結果和相關指標存儲在內(nèi)部硬盤上，從而實現(xiàn)無需人員值守的長期運行。相關數(shù)據(jù)則可以通過模擬、數(shù)字(RS232)和ModbusTM1的輸出方式源源不斷地導出。此外，這系列儀器還可以通過互聯(lián)網(wǎng)遠程控制，用戶無需身處現(xiàn)場，就可以控制儀器、從儀器中獲取數(shù)據(jù)，以及對儀器進行診斷。該系列儀器還可以保存所測氣體的完整光譜，用于故障排除，甚至在過程發(fā)生意外變動后，遠程優(yōu)化分析儀。
二、產(chǎn)品優(yōu)勢
1. 支持HF、HCI、NH3的單氣體或多氣體配置
2. 提供高精度、準確的H,O測量結果
3. 提供0-5V和4-20mA模擬輸出（標配），以及Modbus TCP（選購）
4. 優(yōu)化數(shù)據(jù)處理，在測量亞ppb級別濃度時，實現(xiàn)優(yōu)異性能
5. 提供觸控數(shù)字顯示屏，顯示氣體濃度和分析儀的狀態(tài)
6. 提供主要密碼保護，確保分析儀和數(shù)據(jù)安全
7. 經(jīng)過優(yōu)化的零氣性能，以可靠地確認過程事件
8. 提供可定制的校準套件和性能認證文件包
9. 堅固耐用；所需的維護工作很少并且花費較低
10. 可輕松更換長期受到污染的部件（過濾器）和正常老化部件（泵隔膜）
11. 服務工程師可現(xiàn)場診斷并更換其他大多數(shù)部件
12. 鏡面清潔可現(xiàn)場進行，無需在工廠費時維修
三、技術參數(shù)
GLA231-EAA
項目（氣體） | NH3 | H2O |
精度(1σ) | <1ppb(1秒) <0.3ppb(10秒) <0.1ppb(100秒) | <50ppm(1秒) <20ppm(10秒) <10ppm(100秒) |
檢測限(LOD) | 0.3ppb(100秒) | 50ppm(100秒) |
準確性* | ±0.3ppb，或讀數(shù)的5%，以較高者為準 | >7,000ppm =1%FSD |
不同分析儀的結果差異(相對于平均值，10秒) | ±0.4ppb，或讀數(shù)的5%，以較高者為準 | ≤1000ppm =±10% |
線性測量范圍 | 高達10,000ppb | 高達30,000ppm |
樣品流量(lpm) | 1.4-2.4 | |
響應時間（T90，T10） | 10秒 |
GLA231-HFHC HF
項目（氣體） | HCL** | HF | H2O |
精度(1σ) | <0.3ppb(1秒) <0.1ppb(10秒) <0.035ppb(100秒) | <0.1ppb(1秒) <0.05ppb(10秒) <0.025ppb(100秒) | <25ppm(1秒) <10ppm(10秒) <5ppm(100秒) |
檢測限(LOD) | 0.1ppb(100秒) | 0.075ppm(100秒) | 25ppm(100秒) |
準確性* | ±0.15ppb，或讀數(shù)的5%，以較高者為準 | ±0.1ppb，或讀數(shù)的5%，以較高者為準 | >7,000ppm =1%FSD |
不同分析儀的結果差異(相對于平均值，10秒) | ±0.2ppb，或讀數(shù)的5%，以較高者為準 | ±0.2ppb，或讀數(shù)的5%，以較高者為準 | ≤1000ppm =±10% |
線性測量范圍 | 高達2,000ppb | 高達2,000ppb | 高達30,000ppm |
樣品流量(lpm) | 1.1-1.9 | ||
響應時間（T90，T10） | 25秒 | 25秒 |
一般參數(shù)：
測量速率：0.01-1Hz（用戶可選）
采樣條件：
1. 工作溫度：0°-45°C
2. 環(huán)境濕度：相對濕度<99%，無凝露
3. 入口壓力：分析儀入口處為0-0.35巴(0-5磅力/平方英寸)
數(shù)據(jù)輸出：RS232、模擬、以太網(wǎng)、USB、ModbusTM:TCP/IP
電源要求：170W（穩(wěn)態(tài)）；配備ACC-DP3H外置泵時，最大功率為290W
尺寸(高X寬X深)：22×48×61厘米(8.75×19×24英寸)
重量：29公斤(64磅)
標志和認證：CE、CSA、IEC CB體系
